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通過時域仿真和振動測試的分析方法,研究分析振動環境下碳化硅(SiC)電容式壓力傳感器的零漂。在振動仿真中,將頻域信號轉換成時域信號,采用有限元分析軟件ANSYS,對碳化硅電容式壓力傳感器進行正弦掃描、隨機振動和沖擊仿真分析,從形變計算得到傳感器的仿真零漂。在振動測試中,分別在傳感器施加隨機振動、正弦掃描和沖擊等載荷,測試得傳感器振動前后的電壓,計算出測試零漂。研究結果表明沖擊振動環境中傳感器的零漂最大,正弦掃描振動環境中傳感器的零漂最小。當傳感器的最小固有頻率遠大于最大振動頻率時,研究發現振動試驗的零漂主要與振動量級有關。